無アルカリガラス基盤(OA-10G / OA-11)

特徴	厚みの薄い無アルカリガラス表面が非常に平滑
シーン	基盤の素材光学機器液晶保護ガラス液晶ディスプレイ ELディスプレイ
厚み	0.3 / 0.4 / 0.5 / 0.7 (ミリ)

無アルカリガラス基盤(OA-10G / OA-11)とは

無アルカリガラス基盤(OA-10G / OA-11)は、日本電気硝子が製造している薄板無アルカリガラスです。
主に以下のような特徴を持ちます。

表面平滑性	オーバーフロー法で成形されており、表面が非常に平滑
無アルカリガラス	アルカリ酸化物の含有量が0.1パーセント以下で、「アモルファス・シリコン」や「多結晶シリコン」の薄膜特性を損わない。
熱的寸法安定性	成膜工程やTFTプロセスなどで高い熱的寸法安定性を示す。 ※ガラスの歪点が高く、熱膨張係数が低いため。
化学的表面安定性	半導体プロセス、TFT形成プロセスで用いられる薬液に対して安定。白濁もなく、平滑な表面を保つことができる。
グリーンガラス	環境負荷化学物質である「As(ヒ素)」「Sb(アンチモン)」を含有しないため、環境に優しい。